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RIE刻蝕機

RIE刻蝕機:獨立式RIE系統(tǒng),淋浴頭氣體分布裝置以及水冷RF樣品,不銹鋼柜子以及13“的上蓋式圓柱形鋁腔,便于晶圓片裝載.腔體有兩個端口:一個帶有2“的視窗,另一個空置用于診斷.該系統(tǒng)可以支持Z大到12"的晶圓片。腔體為超凈設計,并且根據(jù)配套的真空泵可以達到10-6 Torr 或更小的極限真空。該系統(tǒng)系統(tǒng)可以在20mTorr到8Torr之間的真空

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質:生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2024-08-12
  • 訪  問  量:2379
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產(chǎn)品詳情

RIE刻蝕機概述:

RIE系統(tǒng),配套有淋浴頭氣體分布裝置以及水冷RF樣品.具有不銹鋼柜子以及13"的上蓋式圓柱形鋁腔,便于晶圓片裝載.腔體有兩個端口:一個帶有2"的視窗,另一個空置用于診斷.該系統(tǒng)可以支持大到12"的晶圓片。腔體為超凈設計,并且根據(jù)配套的真空泵可以達到10-6 Torr 或更小的極限真空。該系統(tǒng)系統(tǒng)可以在20mTorr到8Torr之間的真空下工作。真空泵組包含一個節(jié)流閥,一個250l/s的渦輪分子泵,濾網(wǎng)過濾器,以及一個10cfm的機械泵(帶Formblin泵油).RF射頻功率通過600W,13.56MHz的電源和自動調(diào)諧器提供。系統(tǒng)將持續(xù)監(jiān)控直流自偏壓,該自偏壓可以高達-500V.這對于各向異性的刻蝕至關重要。

該系統(tǒng)是基于PC控制的全自動系統(tǒng).系統(tǒng)真空壓力及DC直流偏壓將以圖形格式實時顯示,流量及功率則以數(shù)字形式實時顯示.系統(tǒng)提供密碼保護的四級訪問功能:操作員級、工程師級、工藝人員級,以及維護人員級.允許半自動模式(工程師模式)、寫程序模式(工藝模式), 和全自動執(zhí)行程序模式(操作模式)運行系統(tǒng)?;谌詣拥目刂?,該系統(tǒng)具有高度的可重復性。

RIE刻蝕機產(chǎn)品特點:

  • 鋁質腔體或不銹鋼腔體

  • 不銹鋼立柜

  • 能夠刻蝕硅的化合物(~400? /min)以及金屬

  • 典型的硅刻蝕速率,400 ?/min

  • 高達12"的陽極氧化鋁RF樣品臺

  • 水冷及加熱的RF樣品臺

  • 大自偏壓

  • 淋浴頭氣流分布

  • 極限真空5x10-7Torr,20分鐘內(nèi)可以達到10-6Torr級別

  • 渦輪分子泵

  • 至多支持8個MFC

  • 無繞曲氣體管路

  • 自動下游壓力控制

  • 雙刻蝕能力支持:RIE以及PE刻蝕(可選)

  • 終點監(jiān)測

  • 氣動升降頂蓋

  • 手動上下載片

  • 基于LabView軟件的PC計算機全自動控制

  • 菜單驅動,4級密碼訪問保護

  • *的安全聯(lián)鎖

  • 可選ICP離子源以及低溫冷卻樣品臺,用于深硅刻蝕

型號:

  • NRR-4000獨立式雙RIE或ICP刻蝕系統(tǒng)

  • NRE-4000獨立式RIE或ICP系統(tǒng)

  • NRE-3500緊湊型獨立式RIE系統(tǒng)

  • NRE-3000臺式RIE系統(tǒng)

  • NDR-4000shen'gui'ke深硅刻蝕系統(tǒng)

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